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洁净室_洁净技术知识 [2006-12-2]来源:www.chinazedo.com

洁净技术,亦即污染控制技术。指的是产品在被加工、处置、治疗、防护及实验等过程中,对其环境内污对象的加工进行控制的技术。

■ 污染包含对产品的损害和对人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。

人是污染源的最大发源地:静坐时,人体每分钟散发10万个粒子(粒径≥0.5μm)。

每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。

半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80% 。

■ 对不同的对象,有不同的污染物控制要求。

⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性)

⑵空气中悬浮分子玷污物

⑶病毒

⑷微振

⑸静电

⑹生产工艺介质:高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。

■ 洁净技术内容涉及:

⑴洁净室技术(工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室):包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以及消除静电和防微振。

⑵高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品的制取、输送及纯化。

⑶有关污染物的检测及监测。

■ 洁净技术应用领域包含:

微电子、光电子、电子材料;仪器仪表、精密机械;制药及生物工程;饮料、食品、化妆品;医疗卫生(洁净手术室及实验室);航空、航天及军事科学等。

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